产品优势:
1、7英寸TFT触摸屏,全数字显示;
2、全自动控制,一键式操作;
3、4根碳绳交替工作,自动检测通断;
4、连续蒸发、脉冲蒸发两种工作模式;
5、旋转样品台,可手动/自动控制;
6、软硬件互锁、安全可靠;
产品参数:
外形尺寸 |
420(L)×330(D)×335(H) mm |
操作界面 |
7 英寸触摸屏、全数字显示 |
蒸发源 |
高纯碳纤维(φ0.8mm) |
蒸发源数量 |
4 根 |
蒸发模式 |
连续蒸发、脉冲蒸发 |
工作模式 |
全自动、手动 |
预热除气 |
有 |
除气挡板 |
全自动 |
真空泵 |
旋片式真空泵 |
真空泵抽速 |
1.1L/s |
真空室 |
高硅硼玻璃 ~φ170×130mm |
极限真空 |
≤1Pa |
样品台 |
≥φ90mm |
工作真空 |
≤2Pa |
样品台旋转 |
手动或自动 |
样品台转速 |
高速、低速两档可调 |
供电 |
AC220V/50Hz |
额定功率 |
800W |
蒸发源状态 |
系统上电后自动检测 4 根蒸发源通断情况,并在主界面显示 |
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保护功能 |
真空保护、过流保护、过压保护等 |
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其它 |
真空、电流、电压可实时曲线 显示 |
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选配 |
分子泵(高真空模式)、膜厚监测、温度检测等 |
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