全自主支持产权
效率更高、颗粒更细,膜厚更均匀
应用领域:
1、EDS样品制备
2、EBSD样品制备
3、MLA系统样品制备
4、其它需要制备碳膜的领域
技术参数:
人机界面 | 7英寸TFT彩色液晶触摸屏 |
蒸发源 | 高纯碳纤维(选配碳棒) |
蒸发源数量 | 1-4根(更多请咨询厂家) |
工作模式 | 连续、脉冲 |
操作方式 | 全自动一键操作 |
真空系统 | 涡轮分子泵+旋片泵 |
极限真空 | ≤5E-3Pa |
工作真空 |
<0.1Pa |
抽气节拍 | <3分钟 |
真空室 | ~φ170×130mm |
其它 | 样品台旋转、样品温度检测、蒸发除气等 |
北京格微仪器有限公司网站 版权所有 2019-2022 京ICP备2020039021号